生仪学院“吕维雪学术论坛”第二十五次会议暨“微机电系统传感器的发展应用和前沿技术”主题报告会成功举办

2025年9月10日，德赢AC米兰中国官方网站德赢AC米兰中国官方网站第二十五次吕维雪学术论坛隆重举行。本次论坛特邀中国科学院上海微系统与信息技术研究所李昕欣和武震宇研究员作为主讲嘉宾，分别围绕“MEMS之于传感器：何其贵？何为廉？”“光学微机电系统技术”两个前沿课题，带来了一场高水平的学术报告。

李昕欣研究员在报告中系统介绍了MEMS（Micro-Electromechanical Systems）传感器的国内外发展现状及应用前景。他重点阐述了团队提出的基于MEMS工艺的谐振悬臂梁传感器，首次实现了对ZnO纳米线与SO₂反应过程的焓变值提取，定量揭示了不同纳米线间存在显著活性差异的热力学机制，并提出了ZnO纳米线与SO₂反应的构效关系。通过球差校正电镜的深入分析，他观测到小尺寸样品晶格膨胀的现象，从原子尺度验证了其活性提高的合理性。在此基础上，李昕欣研究员展示了如何在原位TEM表征所揭示的构效关系指导下，探索不同尺度ZnO纳米线在SO₂捕捉与MEMS传感检测中的应用。这一研究为降低MEMS传感器的制造成本、推动其规模化应用提供了新的技术路径。

武震宇研究员则聚焦光学微机电系统（Optical MEMS）技术，介绍了团队的研究方向与整体架构。他重点分享了以微电子制造技术和微纳加工工艺为核心手段的光学MEMS传感器与执行器研发成果，特别是“光-机-电”一体化集成MEMS传感器与执行器芯片及高可靠微系统。报告中，他详细阐述了双层异构集成技术与晶圆级键合工艺的设计方法，展示了器件在高线性度、超高角度分辨率、快速阶跃响应及高重复定位精度方面的显著优势。同时，他创新性地引入力学定向结构，形成应力集中区域，有效优化了光学控制的精度。值得一提的是，武震宇研究员首次完成了10毫米大口径镜面动态变形的表征实验，满足了远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求，为高精度电磁测量、激光雷达、空间激光通信等核心装备的发展提供了关键技术支撑。

在交流环节，现场气氛热烈。与会师生就MEMS传感器的性能优化与未来发展等多个前沿问题积极提问，两位专家逐一作出深入解答，并高度评价了学院师生扎实的专业素养与良好的科研氛围。参会学生纷纷表示收获颇丰，不仅对MEMS传感器与光学MEMS的核心技术有了更加全面的理解，也对相关领域的发展趋势与应用前景有了更深入的认识。